壓縮式真空計：又稱麥克勞真空計，是一種測量低真空和高真空的絕對真空計。一般用硬質玻璃制成，通過活塞操作使汞儲存器中的汞上升，將氣體隔成兩個區域并進行壓縮，根據玻璃容器體積、毛細管高度和汞柱高度差，利用玻意耳定律算出被測壓力，測量精度較高。
電阻真空計：又稱皮喇尼真空計，是一種測量低真空的相對真空計，主要由電阻式規管和測量線路兩部分組成。規管內封裝著電阻溫度系數較大的鎢或鉑絲，測量時，規管與被測真空系統相接，用電壓、電流加熱電阻絲，其表面溫度與周圍氣體分子熱傳導有關，而氣體分子熱傳導又與壓力有關，根據電阻值大小可測量出壓力。
熱陰極電離真空計：通稱電離真空計，主要用于高真空測量，由圓筒式熱陰極電離規管和測量線路兩部分組成。規管有陰極、螺旋形柵極和圓筒形收集極三個電極，測量時，規管與被測真空系統相連，通電后熱陰極發射電子，與管內空間的低壓氣體分子碰撞使氣體分子電離，在被測氣體壓力低于 10-1 帕的狀況下，當電子流恒定時，離子流與被測真空系統中的氣體分子密度成正比，因此離子流大小可作為壓力的度量。
冷陰極電離真空計：一種測量高真空的相對真空計，由電離規管和測量線路兩部分組成。規管一般由兩塊平行的陰極、一個環形的陽極和產生磁場的磁鋼構成，在正交電場和磁場的作用下，由低壓氣體分子電離產生的放電電流是被測壓力的函數，放電電流大小可作為壓力的度量。
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更新時間：2025-08-15 
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