歡迎來到深圳市京都玉崎電子有限公司！
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產品分類 / PRODUCT
更新時間：2026-07-09 
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設備工位痛點
晶圓旋轉、清洗擺臂、CUP 升降、Pin 針頂升多軸同步；潔凈真空環(huán)境，頻繁開關機，傳統(tǒng)伺服停止震蕩、開機必須回零，占用大量節(jié)拍；皮帶擺臂剛性差，長期運行定位漂移。
東方馬達配套產品
晶圓旋轉主軸：AZX 真空潔凈閉環(huán)步進（免電池 ABZO 絕對值編碼器）
清洗擺臂旋轉軸：DGⅡ 中空旋轉平臺 + AZ 閉環(huán)電機
CUP 升降 / Pin 針頂升：EZ LIMO EZS 一體化電動缸
多軸控制柜：薄型多軸 Mini 驅動器，節(jié)省柜內 50% 布線空間
落地改善效果
斷電yong久記憶原點，取消開機回零工序，單臺設備每日節(jié)省 1.2h 工時；
AZ 自動開閉環(huán)控制，皮帶低剛性機構無整定微振，清洗藥液涂布均勻度提升；
真空低釋氣專用款，無潤滑油揮發(fā)污染晶圓，良率提升 7%。
痛點：拋光擺臂、修整器升降、晶圓載具旋轉需要精準壓力控制；多旋轉軸空間緊湊，傳統(tǒng)伺服體積大、調試復雜。
配套方案
DGⅡ 大通孔中空旋轉平臺（拋光臺主軸）+ AZ 閉環(huán)步進驅動擺臂、升降電動缸。中空通孔可穿過拋光液管路，整機結構大幅簡化。
價值
重復定位 ±8 角秒，晶圓薄膜去除厚度一致性穩(wěn)定；一體化模組無需外購減速機，設備開發(fā)周期縮短 30%。
痛點：真空腔狹小，普通電機體積過大；高真空環(huán)境不能有電池、油脂揮發(fā)；微米級微調不能抖動。
產品：AZ 真空潔凈系列微型步進（法蘭 φ13mm 最小規(guī)格），無油脂低釋氣結構，機械絕對值無電池。
應用：腔體內晶圓預對準、光阻微調；對比山洋 / 國產步進，真空標準型號無需額外防護套件，長期真空環(huán)境故障率降低 60%。
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