歡迎來到深圳市京都玉崎電子有限公司！
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產品分類 / PRODUCT
更新時間：2026-07-08 
瀏覽次數：74線接觸承載，側向、垂向剛性是普通滾珠導軌 2 倍，俯仰、偏擺形變極小，晶圓載臺長期負載不傾斜；
出廠預緊消除間隙，0.1μm 超低速微進給無爬行、無抖動，探針臺扎針、光學成像無虛影；
鏡面研磨導軌直線度≤3μm，長效專用潤滑，24 小時量產數千小時精度幾乎不衰減。
雙螺母錯位預緊結構，整機反向間隙≤1μm，往返換向無空程漂移，解決普通模組來回定位偏移、刮傷晶圓焊盤痛點；
絲杠深冷穩定化熱處理，抑制溫變形，高低溫、長時間連續作業精度波動極小；螺紋鏡面研磨，摩擦低、壽命長。
一體式 XYθ 中空復合滑臺（行業du家標準化）
傳統分體 XY + 旋轉臺堆疊厚度大，駿河一體結構整機高度降低 30%；臺面預留大口徑中空通孔（Φ30~50mm），可穿過真空管路、上下光路，適配晶圓雙面視覺透射檢測、真空腔預對準工位；旋轉重復定位可達 ±10 角秒，是探針臺、固晶機標配。
ji致薄型 PG 微型系列
最薄機身 28mm，適配設備腔體內極小安裝空間，解決先進封裝設備內部機構密集、空間不足問題；同負載下體積比通用滑臺小 20%~40%。
多軸一體成型（XYZ、六維俯仰傾斜模組）
出廠預組裝、同軸校準完成，省去客戶多軸堆疊調試、消除拼接累積誤差，設備開發周期縮短 30%。
Class100/1000 潔凈室標準款
低粉塵表面處理、無揮發潤滑，無金屬碎屑脫落，適配晶圓封裝、光學無塵車間；
高真空低釋氣專用滑臺
標配真空專用全氟潤滑脂、無有機揮發材質，適配刻蝕、薄膜真空腔體，不會污染晶圓膜層；
全封閉不銹鋼伸縮防塵罩（C 型系列）
阻擋粉塵、清洗藥液，適配晶圓清洗、點膠、Mini LED 檢測；
垂直負載電磁剎車選配
垂直升降 Z 軸斷電鎖止，防止晶圓、芯片墜落報廢，固晶機、檢測設備bi備。
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