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描述：日本TORAY東麗用于半導(dǎo)體的氧氣分析儀MS-500測量原理/選型/維護(hù)基礎(chǔ)
產(chǎn)品型號：MS-500廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2025-12-25訪問量：631
產(chǎn)品介紹/ PRODUCT PRESENTATION| 品牌 | TORAY/東麗 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
日本TORAY東麗用于半導(dǎo)體的氧氣分析儀MS-500
日本TORAY東麗用于半導(dǎo)體的氧氣分析儀MS-500
測量原理/選型/維護(hù)基礎(chǔ)
氧化鋯陶瓷的兩面均加工有電極，有在高溫下一側(cè)電極電離氧分子，另一側(cè)電極將氧離子還原成氧分子的特性。這種性質(zhì)稱為離子傳導(dǎo)，離子傳導(dǎo)程度隨著氧化鋯陶瓷兩側(cè)氧濃度差的增大而增大。在此期間，電子在兩個(gè)電極之間交換，離子傳導(dǎo)的程度（=氧化鋯陶瓷兩側(cè)的氧濃度差）可以被提取為兩個(gè)電極之間的電動(dòng)勢的大小。如下圖所示，根據(jù)能斯特理論公式可以得到這個(gè)電動(dòng)勢的穩(wěn)定值，因此東麗氧化鋯傳感器可以提供穩(wěn)定可靠的氧氣濃度值。
由于氧氣濃度計(jì)內(nèi)部有電爐，因此不能在安裝氣氛為防爆的區(qū)域使用。
如果可燃?xì)怏w（如氫氣、甲烷、酒精、一氧化碳等）進(jìn)入氧氣計(jì)內(nèi)部，會(huì)發(fā)生燃燒反應(yīng)，導(dǎo)致測量誤差。
有機(jī)二氧化硅（用于密封劑等）會(huì)導(dǎo)致傳感器劣化。（這是傳感器劣化的最常見原因之一。
鹵素（尤其是氯）會(huì)導(dǎo)致傳感器故障。
如果一氧化碳等熱值較高的物質(zhì)間歇性地混入傳感器中，則會(huì)接收熱歷史并導(dǎo)致傳感器故障。
如果混入大量Nox、Sox等腐蝕性氣體，會(huì)導(dǎo)致傳感器故障。
氟利昂氣體在高溫下可能會(huì)引起分離反應(yīng)，導(dǎo)致傳感器劣化。
水滴、灰塵和霧氣可能會(huì)損壞傳感器、縮短其使用壽命并導(dǎo)致錯(cuò)誤。測量含有這些氣體的氣體時(shí)，請?jiān)趯⑵淞魅胙鯕鉂舛扔?jì)之前先將其除去。購買前請咨詢我們有關(guān)去除方法。
如果您在選擇型號時(shí)遇到困難，請參考下表。
| 目的 | 兼容型號 | 解釋 | 其他選項(xiàng) |
|---|---|---|---|
| 半導(dǎo)體、液晶、 電子元件 | MS-500 | 用于安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備等上，最多可測量8點(diǎn) | |
| LC-450A | 兼容 ppm 級測量，交流電源類型 |
| |
| LC-450D | 支持ppm級測量，DC電源類型 | ||
| LC-860 | 兼容 ppb 級測量，交流電源類型 | ||
| SD/LD-450 | 真空室安裝型（用于設(shè)備集成） | 交流電源裝置：DU-450 | |
| 燒成爐/ 氮?dú)饣亓骱? 廢氣 | RF-400 | 具有氧傳感器保護(hù)功能的烘烤爐/回流焊專用機(jī) |
|
| LC-750H/PC-111 | 內(nèi)置抽氣泵，適用于中高濃度污濁氣體 | ||
| 天然氣裝置/ 空氣分離 | LC-750H | 中/高濃度通用型 | |
| LC-750H/PC-110 | 內(nèi)置抽氣泵，適用于中高濃度清潔氣體 | ||
| LC-750L | 低濃度通用型 | ||
| LC-750L/PC-120 | 內(nèi)置抽氣泵，適用于低濃度清潔氣體 | ||
| 真空沉積/ 密封爐/ 手套箱 | SD/LD-450 | 分離式傳感器/轉(zhuǎn)換器型、薄壁安裝轉(zhuǎn)換器 | 交流電源裝置：DU-450 |
| 食品包裝 | LC-450F | 用于充氣后取樣檢查（取樣探頭） |
|
| LC-750F | 用于充氣后取樣檢查（注射器） | ||
| LF-200 | 用于安裝在氣體灌裝自動(dòng)包裝機(jī)上 |
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