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產(chǎn)品分類 / PRODUCT
更新時(shí)間:2026-07-04
瀏覽次數(shù):86驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu):zhuan利六段三重凸輪三柱塞交替吸排,脈動(dòng)≤0.5%,無需緩沖罐;
流量特性:流量與伺服轉(zhuǎn)速嚴(yán)格線性,不受出口壓力、介質(zhì)粘度波動(dòng)干擾;
機(jī)械結(jié)構(gòu):柱塞強(qiáng)制機(jī)械回程,高粘度漿料、膠液無吸料不足、丟量問題;
接液材質(zhì)通用可選:電解拋光 SUS316、哈氏合金、鈦材、全 PEEK/PTFE 非金屬無金屬析出泵頭;
選配配件:恒溫冷熱夾套、氮?dú)獯祾吒艚^空氣、在線清洗模塊、伺服閉環(huán)控制系統(tǒng);
控制方式:4-20mA 模擬量、RS485 通訊,可直接對(duì)接無塵車間 PLC 自動(dòng)化系統(tǒng)。
全系最大單泵流量,覆蓋 60~108.6mL/min 量產(chǎn)區(qū)間,單臺(tái)替代多臺(tái) HYM-03/06 并聯(lián),簡(jiǎn)化管路與控制;
8mm 大柱塞截面,高粘度光刻膠、PI 聚酰亞胺、高固含量漿料輸送吸料能力zui強(qiáng);
無 200bar 以上高壓定制版本,僅適配 98bar 以內(nèi)中低壓量產(chǎn)工況;
同等輸出流量下電機(jī)轉(zhuǎn)速更低,凸輪、柱塞、閥組磨損更小,長期 24h 量產(chǎn)校準(zhǔn)周期更長;
可選用雙頭款 HYM-W-08,最大流量翻倍至 217.2mL/min,適配寬幅卷對(duì)卷連續(xù)產(chǎn)線。
介質(zhì):高粘度光刻膠、PI 固化液、抗反射涂層 ARC、厚膜絕緣膠;
工況:寬幅模頭連續(xù) 24h 供液,單路流量 60–100mL/min,單泵獨(dú)立供給整幅涂布模頭;
優(yōu)勢(shì):無脈動(dòng)消除整片晶圓膜厚波浪條紋,大柱塞高粘度輸送不缺料,批次膜厚一致性大幅提升;
材質(zhì)選型:PEEK 泵頭,杜絕金屬離子污染晶圓。
濕膜光刻膠連續(xù)滾涂:卷對(duì)卷高速產(chǎn)線大流量穩(wěn)定供膠,避免板面厚薄不均;
大容量蝕刻槽、化學(xué)鍍槽持續(xù)補(bǔ)液:氯化銅蝕刻母液、沉鎳鈀金藥劑長期自動(dòng)補(bǔ)加,穩(wěn)定藥液濃度,減少停機(jī)換液;
阻焊綠油量產(chǎn)涂布:高粘度油墨穩(wěn)定輸送,杜絕斷涂、色差缺陷,選用 316 拋光泵頭易清洗。
大流量底填膠、環(huán)氧密封膠集中供膠系統(tǒng):多芯片堆疊 WLCSP、大批量芯片封裝連續(xù)點(diǎn)膠供料;
晶圓電鍍生產(chǎn)線大容量添加劑補(bǔ)給:哈氏合金泵頭耐酸性鍍液氯離子腐蝕,穩(wěn)定鍍層均勻性。
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