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產(chǎn)品分類 / PRODUCT
更新時間:2026-07-04
瀏覽次數(shù):76介質:大流量光刻膠、稀釋劑、抗反射涂層液、PI 聚酰亞胺固化液
工況:連續(xù) 24h 涂布,單路供液流量 20–50mL/min,單臺泵供給整幅寬狹縫模頭
選型:PEEK/316 拋光泵頭,雙泵 HYM-06 聯(lián)動做膠液 + 稀釋劑在線配比
優(yōu)勢:無脈動避免整片晶圓膜厚波浪紋,滿足量產(chǎn)穩(wěn)定供液需求
介質:TMAH 顯影液、高純 IPA 清洗液、堿性剝離液、界面活性劑
工藝:大型清洗槽持續(xù)微量到中流量補加,穩(wěn)定槽內藥液濃度,減少換液停機
材質:316 電解拋光泵頭,易拆洗,無塵車間低顆粒析出
濕膜光刻膠滾涂量產(chǎn)供液:相比 HYM-03 小試單盤涂布,HYM-06 適配連續(xù)卷對卷產(chǎn)線;
蝕刻 / 化學鍍銅大容量藥劑補加:氯化銅蝕刻母液、化學鍍還原劑持續(xù)投加;
阻焊綠油連續(xù)涂布,高粘度油墨穩(wěn)定輸送,無斷供、厚薄不均缺陷。
大流量底填膠、環(huán)氧密封膠批量輸送:多芯片堆疊 WLCSP 封裝連續(xù)點膠供膠;
晶圓電鍍生產(chǎn)線光亮劑、整平劑中流量補給,哈氏合金泵頭耐酸性鍍液氯離子腐蝕。
光刻樹脂、拋光漿料、電解液中試放大,多路同步配比;
流量高于實驗室小試,替代多臺并聯(lián) HYM-03,簡化設備集成、降低成本。
光學基板抗指紋涂層量產(chǎn)高壓噴涂;
CMP 拋光液氧化劑、pH 調節(jié)劑連續(xù)中流量投加,穩(wěn)定晶圓去除速率。
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