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產品分類 / PRODUCT
更新時間:2026-07-13
瀏覽次數:44一、產品基礎定位
品牌:SAKAMOTO ELECTRIC 坂本電機製作所(SEM)
型號:SELN-001B
類型:有線分體式雙軸高精度數字水平儀(無內置存儲,現場快速調平基礎款)
渠道:京都玉崎優(yōu)勢現貨供應,日本yuan裝jin口,半導體設備原廠配套主力型號
二、核心技術參數
1. 精度核心指標
測量軸:X、Y 雙軸同步實時監(jiān)測
測量量程:X/Y ±0.3°
系統(tǒng)零點重復精度:±0.001°(17.5μm/m),微米級超高精度
測量分辨率:0.0002°(0.35μm/m)
檔位切換:0.01° / 0.001° / 0.0001° 三檔精度可調
響應速度:≤50ms,數據無滯后漂移
工作溫度:-10℃ ~ +50℃,冷熱工況穩(wěn)定
2. 硬件尺寸與重量
傳感器探頭(測量端)
尺寸:Φ50×19mm 超薄圓盤型
重量:70g,SUS 不銹鋼防靜電底座
手持顯示主機
尺寸:96×35×145mm
重量:280g,便攜手持
標配線纜:2 米有線連接線,可遠距離觀測
屏幕:4.3 英寸彩色觸控液晶屏(480×272)
3. 供電方式
標配:專用 DC6V 交流適配器
便攜備用:4 節(jié) 5 號 AA 干電池(電池需另購)
三、產品核心優(yōu)勢
分體超薄探頭,適配狹小密閉空間
探頭僅硬幣大小,可伸入晶圓腔體、設備夾層、上下窄間隙,傳統(tǒng)一體式水平儀無法測量的內部工位均可作業(yè);2 米線纜支持單人遠距離調平,不用反復進出設備腔體。
半導體腔體測量場景
可視化模擬氣泡界面,上手零門檻
屏幕復刻傳統(tǒng)氣泡水平儀圓形靶圖,紅點代表實時傾斜位置;可自定義綠色合格公差區(qū)間,超差自動 NG 警示,統(tǒng)一全廠作業(yè)判定標準,消除人工肉眼讀數誤差。
雙軸同步測量,大幅縮短調試工時
X、Y 兩軸數值同屏顯示,一次放置同時校準兩個方向,避免單軸儀器反復調試產生累積誤差,設備調平效率提升 50% 以上。
無塵車間專用耐用設計
不銹鋼探頭底座低粉塵析出、防靜電,適配半導體潔凈廠房;32 位處理器 + 14 位高精度 AD 轉換,長時間連續(xù)測量無溫漂偏移。
基礎實用款,性價比高
無復雜數據存儲、無線模塊,主打設備現場安裝、檢修快速調平,對比無線款 SELN-121BM/131BM 采購成本更低,工廠維保標配。
四、主要功能清單
絕對水平測量、相對角度置零比對雙模式
自定義合格公差閾值,超差聲光 / 屏幕報警
角度單位切換:°(度)、μm/m(微米每米)
三檔測量精度自由切換,粗調 + 精細校準兩用
單通道有線傳感,穩(wěn)定無無線信號干擾
實時數值 + 氣泡圖形雙顯示
五、主流應用領域(坂本核心配套賽道)
1. 半導體行業(yè)(主力應用)
光刻機、晶圓研磨機、刻蝕機、涂膠顯影設備、探針臺、真空鍍膜平臺調平;日系半導體設備原廠預裝標配,保證光路、晶圓平臺微米級基準精度。
半導體產線配套場景
2. 精密加工設備
CNC 加工中心、坐標磨床、三坐標測量機、光學檢測平臺、自動化工裝夾具水平校準。
3. 光學 / 實驗室設備
干涉儀、光學鏡頭裝配臺、隔振光學平臺、精密檢測儀器基準校正。
4. 特種設備與基建
小型工程機械、醫(yī)療影像設備(CT/MRI)、小型鋼結構、試驗臺傾斜檢測。
六、同系列型號區(qū)分(選型參考)
SELN-001B:有線、無數據存儲、基礎現場調平(現貨量大,性價比款)
SELN-011B:有線款,帶數據記錄存儲功能
SELN-121BM / SELN-131BM:無線分體式,支持數據導出、遠距離無線觀測
七、京都玉崎供貨配套說明
原裝整套出貨:顯示主機 +Φ50 傳感器 + 2 米線纜 + 原廠電源適配器 + 校準證書
深圳常備現貨,當日 / 次日發(fā)貨
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