歡迎來到深圳市京都玉崎電子有限公司！
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產品分類 / PRODUCT
更新時間：2026-07-15 
瀏覽次數：55效率分為抽氣效率（真空性能）、電能功耗效率、長期運維綜合效率三個維度，同時和旋片油泵、LS 螺桿干泵做橫向對比。
雙層雙渦旋結構，容積利用率高DIS 系列采用雙繞式動靜渦旋嚙合，多級月牙壓縮腔同步工作，無無效死容積，從大氣壓到 1Pa 區間抽速衰減平緩，粗抽階段抽氣速度穩定，小型腔體抽氣耗時短ULVAC SHOW...。
DIS-90：90 L/min@50Hz，電機僅 150W；
DIS-252：250 L/min，400W；
DIS-501：500 L/min，1100W。
極限真空表現優秀標準 DIS（精密型）極限 1～5Pa，同功率干式泵里真空上限ling 先；依靠多級漸進壓縮，壓縮梯度均勻，不存在單級干泵壓縮損耗大、真空上不去的問題。
空載保壓效率穩定腔體達到目標真空后，進氣流量極低，渦旋泵負載同步下降，不會像螺桿泵空載持續高負載；只是無 ECO-SHOCK 節能旁路，極限待機功耗高于 LS-C 螺桿泵。
設備間斷啟停、每次抽氣幾分鐘就保壓：
渦旋無油、無預熱等待，開機立刻滿抽速；
無潤滑油攪拌損耗，同等抽速下瞬時功耗低于 GLD 旋片油泵；
風冷散熱，無需冷卻水配套，省去水冷系統能耗。
舉例：DIS-252（250L/min，400W），同抽速級別的雙級旋片油泵功耗普遍 550W 以上，長期間歇使用更省電。
LS 螺桿內置節能旁路，低真空待機功耗可降至 0.6kW 以內；DIS 無節能旁路，保壓階段電機維持額定負載運行，長期連續待機電費更高，這是渦旋泵最大效率短板。
摩擦損耗極低（動靜渦旋無金屬接觸），機械損耗轉化熱量少，整機溫升低，無塵車間空調附加能耗更低；噪音 50～55dB，無需隔音改造，間接降低配套投入。
維護效率ji高無旋片、彈簧、軸封等易損件，無換油周期；僅定期更換入口濾芯，單次保養工時 5 分鐘以內，停機損耗遠低于油泵、普通干泵。油泵每年多次換油、更換旋片，人工 + 耗材成本高；渦旋泵 2～3 年僅更換密封膠條，運維成本大幅下降。
潔凈工藝隱性效率無油霧返流，不會污染鏡片、晶圓、質譜檢測器，減少工件報廢、腔體清洗頻次，提升生產良率，屬于工藝層面的效率提升。
故障率低，稼動率高無接觸壓縮結構，磨損極小，7×24 小時連續運行性能衰減慢，長期穩定抽速，不用頻繁校準真空。
抽氣效率：油泵極限真空更低（0.1Pa），壓縮密封靠油，真空性能略優；
電耗：同等抽速油泵功耗更高，且油品攪拌持續發熱；
運維效率：渦旋完勝，無油品消耗、無倒灌污染風險。
大流量連續量產：螺桿泵抽速更大、待機節能，綜合電耗效率更高；
小型間歇設備（實驗室、小型鍍膜）：渦旋泵體積小、啟停靈活、維護簡單，綜合使用效率更高。
大流量、24 小時不間斷保真空產線，電能效率不如 LS-C 節能螺桿；
處理大量水蒸氣、粉塵工況，需頻繁加裝氣鎮沖洗，會小幅降低有效抽速；
抽速上限低，最大僅 500L/min，大型腔體抽氣效率不如螺桿干泵。
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